Шта је фотолитографија?
Фотолитографија је један од важних процеса у производњи интегрисаних кола (ИЦ или чипова). Једноставно реците, то је процес копирања узорка кола на подлогу коришћењем фотомаске и фоторезиста.
Подлога ће бити обојена на изолационом слоју од силицијум диоксида и фотоотпорнику. Фоторезист се може лако растворити помоћу развијача након излагања УВ светлу, након што се раствара и угравира, узорак кола ће остати на подлози.
Шта је Пхоторесист? Зашто се УВ таласна дужина од 500 нм мора блокирати?
Фоторезист је комбинован са смолама, растварачима и адитивима. Опсег осетљивости на светлост фоторезиста је 200нм-500нм. Због тога ће многе лабораторије за полупроводнике усвојити жуто светло које блокира УВ таласну дужину од 500 нм како би спречило преекспонирану или прерано изложену фоторезистенцију.
